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2013 年度 実績報告書

コヒーレント軟X線を用いた高空間・高時間分解顕微干渉イメージングシステムの開発

研究課題

研究課題/領域番号 25286086
研究種目

基盤研究(B)

研究機関徳島大学

研究代表者

富田 卓朗  徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 (90359547)

研究分担者 長谷川 登  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究職 (50360409)
錦野 将元  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (70370450)
河内 哲哉  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究主幹 (40343941)
末元 徹  東京大学, 物性研究所, 教授 (50134052)
大西 直文  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (20333859)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード軟X線レーザー / 顕微計測 / 時間分解測定 / フェムト秒レーザーアブレーション / 分子動力学解析 / シングルショット計測
研究概要

25年度では、フレネルゾーンプレートを用いた顕微光学系の構築をすすめた。まず、フレネルゾーンプレートを用いた顕微イメージング光学系と時間原点決定のためのタイミング計測システムを両立することのできる光学系の配置案を設計した。また、それに必要なビームスプリッターなどの光学部品の仕様も決定し、発注を行った。さらに、これらの光学系が入る専用チャンバーを設計し、26年度早期に発注可能な段階に来ている。26年度ではこれらの納品後、速やかに光学系の構築とデータ取得に取り掛かる予定である。
さらに、光学系やチャンバーの設計・製作と並行し、、既存の光学系を用いた種々の金属におけるアブレーションダイナミクスの観測を行った。具体的には、これまでの白金に加え、金やタングステンにおけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測をおこない、これまで観測していなかった時間領域でも幾つかの新しい現象を見出すことに成功した。そのなかでも特に、レーザー照射後数百ピコ秒で観測された軟X線のニュートンリングはアブレーションに伴う膨張表面の詳細なプロファイルを与えるとともに、軟X線領域でのニュートンリングを観測した初めての例としても重要なものである。
また、数百ナノ秒の時間領域ではアブレーションに伴う膨張表面の拡大に伴って、膨張表面の影(シャドウグラフ)を観測することに成功した。このシャドウグラフから数百ナノ秒領域における膨張表面の形状を推定することが出来た。
さらに、これらの結果は分子動力学シミュレーションとの対応がとられ、数百ピコ秒程度で観測された被照射面の振動現象など、実験と計算とのよい一致が得られた。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

実験データの取得は非常に順調に進んでおり、理論計算との対応も始まっている。そのため、残り2年間でアブレーションに関する知見の蓄積は十分にできるものと考えている。
一方で顕微計測システムの構築は鋭意行っているものの、発注が当初予定より遅れている。この点については、顕微計測用チャンバーの発注を2014年度6月期までに行うことで、研究計画に大きな影響は生じないと考えている。

今後の研究の推進方策

研究計画は概ね順調に進行しているので、現状の推進方策で概ね問題ないものと考えているが、顕微計測系の立ち上げがこれ以上遅れないように注意して研究を進める必要があると考えている。

次年度の研究費の使用計画

顕微計測用のチャンバーの発注が遅れたため次年度使用額が生じた。
これらのうちの大半(400万円程度)は26年度前期にチャンバーを購入するために使用し、残りは主にフレネルゾーンプレートの購入にあてる予定である。

  • 研究成果

    (22件)

すべて 2014 2013

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (20件) (うち招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Time-resolved soft x-ray imaging of femtosecond laser ablation process in metals2014

    • 著者名/発表者名
      Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering

      巻: 印刷中 ページ: 印刷中

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 固体物性からみたレーザーアブレーション, --- 講座:レーザー生成プラズマの新しい温度,密度領域における物性とシミュレーション ---2013

    • 著者名/発表者名
      富田卓朗
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌

      巻: 89 ページ: 493-499

    • 査読あり
  • [学会発表] 斜入射型反射軟X線顕微鏡によるサブミクロン画像観察2014

    • 著者名/発表者名
      馬場 基芳, 錦野 将元, 長谷川 登, 富田 卓朗, 南 康夫, 武井 亮太, 山極 満, 河内 哲哉, 末元 徹
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      東海大学 (神奈川県)
    • 年月日
      20140328-20140328
  • [学会発表] フェムト秒レーザー照射に伴う金属表面剥離過程の分子動力学解析2014

    • 著者名/発表者名
      羽富 大起, 大西 直文, 錦野 将元, 長谷川 登, 富田 卓朗, 伊藤 篤史, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      東海大学 (神奈川県)
    • 年月日
      20140328-20140328
  • [学会発表] 軟X線ニュートンリングとシャドウグラフを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測2014

    • 著者名/発表者名
      江山 剛史, 柿本 直也, 富田 卓朗, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 大西 直文, 羽富 大起, 海堀 岳史, 守田 利昌, 平野 祐介, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      東海大学 (神奈川県)
    • 年月日
      20140328-20140328
  • [学会発表] 軟X線レーザープローブを用いた,金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測2014

    • 著者名/発表者名
      山極 満, 長谷川 登, 錦野 将元, 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 大西 直文, 羽富 大起, 伊藤 篤史, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 末元 徹
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      東海大学 (神奈川)
    • 年月日
      20140328-20140328
  • [学会発表] 軟X線イメージングによる金属表面におけるアブレーション過程の観測2014

    • 著者名/発表者名
      富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 大西 直文, 羽富 大起, 海堀 岳史, 守田 利昌, 平野 祐介, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      東海大学 (神奈川県)
    • 年月日
      20140327-20140327
  • [学会発表] 軟X線レーザーを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測II2014

    • 著者名/発表者名
      錦野 将元, 長谷川 登, 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 大西 直文, 羽富 大起, 伊藤 篤史, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      東海大学 (神奈川県)
    • 年月日
      20140327-20140327
  • [学会発表] 軟X線レーザーを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測I2014

    • 著者名/発表者名
      長谷川 登, 錦野 将元, 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 大西 直文, 羽富 大起, 伊藤 篤史, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      東海大学 (神奈川県)
    • 年月日
      20140327-20140327
  • [学会発表] 軟 X 線シャドウグラフを用いたナノ秒スケールにおける金のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測2014

    • 著者名/発表者名
      柿本 直也, 江山 剛史, 富田 卓朗, 長谷川 登, 錦野 将元, 南 康夫, 馬場 基芳, 海堀 岳史, 守田 利昌, 平野 祐介, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      第 61 回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学 (神奈川県)
    • 年月日
      20140320-20140320
  • [学会発表] Observation of the transient state of the femtosecond laser ablation phenomena on various metals2014

    • 著者名/発表者名
      Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Takashi Eyama, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka Convention Center (Fukuoka)
    • 年月日
      20140206-20140206
  • [学会発表] 軟X線レーザープローブを用いた金属のフェムト秒レーザーアブレーション過程の時間分解計測2014

    • 著者名/発表者名
      長谷川 登, 富田 卓朗, 錦野 将元, 武井 亮太, 馬場 基芳, 江山 剛史, 柿本 直也, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      レーザー学会創立40周年記念学術講演会 第34回年次大会
    • 発表場所
      北九州国際会議場 (福岡県)
    • 年月日
      20140121-20140121
  • [学会発表] 軟X線レーザーによる金のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測2014

    • 著者名/発表者名
      錦野 将元, 長谷川 登, 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 羽富 大起, 大西 直文, 馬場 基芳, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      レーザー学会創立40周年記念学術講演会 第34回年次大会
    • 発表場所
      北九州国際会議場 (福岡県)
    • 年月日
      20140121-20140121
  • [学会発表] レーザーアブレーションダイナミクスのイメージング2013

    • 著者名/発表者名
      富田 卓朗
    • 学会等名
      第9回励起ナノプロセス研究会
    • 発表場所
      筑波大学東京キャンパス (東京都)
    • 年月日
      20131219-20131219
    • 招待講演
  • [学会発表] Pt表面におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の分子動力学解析2013

    • 著者名/発表者名
      羽富 大起, 大西 直文, 錦野 将元, 長谷川 登, 富田 卓朗, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      日本物理学会秋季大会
    • 発表場所
      徳島大学 (徳島県)
    • 年月日
      20130928-20130928
  • [学会発表] ピコ秒からサブマイクロ秒時間領域における金属のフェムト秒レーザーアブレーションダイナミクスの観測2013

    • 著者名/発表者名
      長谷川 登, 錦野 将元, 海堀 岳史, 平野 祐介, 守田 利昌, 河内 哲哉, 山極 満, 富田 卓朗, 江山 剛史, 柿本 直也, 羽富 大起, 大西 直文, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 末元 徹
    • 学会等名
      日本物理学会秋季大会
    • 発表場所
      徳島大学 (徳島県)
    • 年月日
      20130928-20130928
  • [学会発表] 軟X線反射率イメージングによる金および白金におけるレーザーアブレーションダイナミクスの観測2013

    • 著者名/発表者名
      江山 剛史, 富田 卓朗, 錦野 将元, 長谷川 登, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 大西 直文, 羽富 大起, 海堀 岳史, 守田 利昌, 平野 祐介, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      日本物理学会秋季大会
    • 発表場所
      徳島大学 (徳島県)
    • 年月日
      20130927-20130927
  • [学会発表] 軟X 線レーザーによる金及び白金におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測2013

    • 著者名/発表者名
      江山 剛史, 富田 卓朗, 錦野 将元, 長谷川 登, 南 康夫, 武井 亮太, 馬場 基芳, 大西 直文, 羽富 大起, 海堀 岳史, 守田 利昌, 平野 祐介, 河内 哲哉, 山極 満, 末元 徹
    • 学会等名
      第74回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学 (京都府)
    • 年月日
      20130917-20130917
  • [学会発表] Observation of the surface dynamics of femtosecond laser ablation by time-resolved soft x-ray imaging techinique2013

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
    • 学会等名
      The Eighth International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications
    • 発表場所
      Nara Prefectural New Public Hall (Nara)
    • 年月日
      20130913-20130913
  • [学会発表] Femtosecond laser ablation process on platinum and gold observed by plasma-based soft x-ray laser2013

    • 著者名/発表者名
      Takashi Eyama, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Yusuke Hirano, Toshimasa Morita, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
    • 学会等名
      The Eighth International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications
    • 発表場所
      Nara Prefectural New Public Hall (Nara)
    • 年月日
      20130913-20130913
  • [学会発表] Observation of the nano-scale surface dynamics of femtosecond laser ablation by time-resolved soft x-ray imaging technique2013

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
    • 学会等名
      SPIE Optics + Photonics 2013
    • 発表場所
      San Diego Convention Center (San Diego)
    • 年月日
      20130827-20130827
    • 招待講演
  • [学会発表] A study of the femto-second laser ablation process in metals by using a single shot soft x-ray laser probe2013

    • 著者名/発表者名
      Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Ryota Takei, Takeshi Kaihori, Yusuke Hirano, Toshimasa Morita, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference
    • 発表場所
      Makuhari Messe International Conference Halls (Chiba)
    • 年月日
      20130717-20130717

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公開日: 2015-05-28  

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