コヒーレント軟X線を用いた高空間・高時間分解顕微干渉イメージングシステムの開発

2015 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 25286086
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 一部基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 量子ビーム科学
• 研究機関: 徳島大学
• 研究代表者: 富田 卓朗 徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 (90359547)
• 研究分担者: 長谷川 登 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究職 (50360409) ; 錦野 将元 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (70370450) ; 河内 哲哉 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究主幹 (40343941) ; 末元 徹 東京大学, 物性研究所, 教授 (50134052) ; 大西 直文 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (20333859)
• 研究協力者: 江山 剛史 ; 柿本 直也 ; 井筒 類
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2016-03-31
• キーワード: 軟X線レーザー / 顕微計測 / 時間分解測定 / フェムト秒レーザーアブレーション / シングルショット計測

研究成果の概要

フェムト秒レーザー照射によって起こるナノメートルレベルでの微細な加工現象を明らかにするため、フェムト秒レーザーポンプ・軟X線プローブの時間分解イメージングシステムの構築を行った。反射率イメージングからはレーザー加工によって生じる剥離薄膜の膨張過程を明らかにすることができ、膨張途中の剥離薄膜の形状が入射レーザー光の強度プロファイルに一致することを明らかにした。
さらに、軟X線の干渉計測も行うことで、レーザー照射直後の1ナノ秒以下で生じる剥離薄膜の形成とアブレーション痕の形成過程も明らかにすることが出来た。

自由記述の分野

光物質科学