| 研究課題/領域番号 |
25289056
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)
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| 研究分担者 |
鞠谷 雄士 東京工業大学, 物質理工学院, 教授 (70153046)
高橋 邦夫 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (70226827)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2017-03-31
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| キーワード | 静電チャック / 生体模倣 / 静電力 / 双極型 / リソグラフィー / 3Dプリンター |
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| 研究実績の概要 |
本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ（seta）微細毛にヒントを得た構造により，対象の表面形状に沿って柔軟に密着し，静電力をより有効に働かせるデバイスを実現すること，さらに，それを用いた「強い凝着」と「容易な離脱」を両立可能にする技術体系を確立することである．28年度は，「双極型『ヤモリ型静電チャック』モジュール積層化によるデバイスの大面積化」のための「リソグラフィー技術による双極型微細毛静電チャックモジュールの試作・性能評価」および「3Dプリンターを用いた双極型微細毛静電チャックモジュールの性能向上」によって，ヤモリ型微細毛静電チャックの大面積化への実現可能性を示した．前者は，半導体層・絶縁層・半導体層の3層一体のウエハをDRIE（ドライエッチング）とウェットエッチングを併用した手法によって，微細毛柔軟静電チャックモジュールを実装する技術であり，後者は，3Dプリンターにより，導体層・絶縁層・導体層の3層一体の微細毛柔軟静電チャックモジュールを一体成形する手法である．それぞれのタイプのモジュールが機能することを検証し，その潜在的なポテンシャルを評価することができた．今後は，対象の材質，形状などの範囲を広げることにより，従来に無い自動化ハンドリング技術を確立することが可能だと考えられる．
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| 現在までの達成度 (段落) |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 今後の研究の推進方策 |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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