研究成果の概要 |
原料が豊富で毒性がない炭素に着目し、水素化アモルファスカーボン薄膜の作製技術の確立と物性制御を行い半導体材料として使える可能性を明らかにすることを目的とした。フラーレンやBathocuproine等有機分子とAg, Ca等との間で大きな電荷移動があることを見出し、この結果より、水素化アモルファスカーボン薄膜へのF、Caドーピングの構想を立てた。Fを添加することでpタイプ化に、また、Ca添加によりnタイプ化に成功した。電気伝導度およびキャリヤ濃度はpタイプでそれぞれ1x10E0Ωcm、1x10E19cm-3, nタイプでそれぞれ1x10E-2Ωcm、1x10E20cm-3を得た。
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