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2015 年度 研究成果報告書

シリコン中のドーパント原子を用いた高精度電荷制御の研究

研究課題

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研究課題/領域番号 25289098
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関富山大学

研究代表者

小野 行徳  富山大学, 大学院理工学研究部(工学), 教授 (80374073)

研究分担者 堀 匡寛  静岡大学, 電子工学研究所, 講師 (50643269)
土屋 敏章  島根大学, 総合理工学研究科, 教授 (20304248)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワードチャージポンピング / ドナー / 単一電子転送
研究成果の概要

半導体中の局在準位を用いた電荷の高精度転送を実現するために、その素過程を調べ以下の結果を得た。まず、電子正孔再結合過程を実時間で観測できる手法を確立し、捕獲断面積などの情報を抽出することに成功した。また、単一界面欠陥の再結合過程を調べ、2電子再結合が生じていることを見出した。この結果は、チャージポンピング法の基礎をなす電荷再結合のメカニズムが、SRH理論では記述できないことを強く示唆している。さらに、シリコン中の浅い準位を有するドナーのスピン状態を電子スピン共鳴法を用いて調べ、砒素のみ、常磁性化していないことを示唆する結果を得た。

自由記述の分野

ナノエレクトロニクス

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公開日: 2017-05-10  

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