研究課題
基盤研究(B)
生体分子やイオンを検出する手法として、電界効果トランジスタ(FET)を利用したセンサーの研究が注目されている。センサーにSi単一電子トランジスタ(SET)を利用した場合、クーロン振動のために通常のFETを用いた場合よりも高感度な検出が期待できる。本研究では、SETを利用した高感度バイオ検出のメカニズムについて、実験及びシミュレーションを用いて明らかにした。また、SETを用いたバイオセンサーの実用化への展開を図る目的で、前立腺特異抗原(PSA)の検出を行った。
半導体デバイス・プロセス