| 研究課題/領域番号 |
25289106
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
渡邊 健夫 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (70285336)
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| 研究分担者 |
原田 哲男 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (30451636)
木下 博雄 兵庫県立大学, 産学連携機構, 特任教授 (50285334)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| キーワード | EUVリソグラフィ / レジスト / 高感度 / LWR |
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| 研究実績の概要 |
平成２６年度は、以下に示す５つの研究内容について研究を進めた。これらの研究内容についての研究実績を以下のとおり記載する。
１）感光性材料の探索： 酸発生剤のアニオン部にimidiate構造を有する酸発生剤の検討を進めてきた。この中で酸の拡散長を抑えるために、アニオン部に大きな構造を有する酸発生剤の設計を進め、この材料を合成することができた。
２）PAGについての酸の拡散長および酸の発生効率の測定： 各種酸発生剤について酸の拡散長および酸の発生効率についての測定系の開発を進めた。特にオープンフレームの露光系について、ニュースバルのBL3ビームラインに構築を進め、このハードに加えて自動露光が可能なソフトウェアの開発を進めた。
３）高感度レジスト基材の検討： 化学増幅系レジストを対象に、官能基の特性を向上させて高感度レジストの検討を進めた。
４）線幅バラツキ低減に向けたPAGの濃度分布測定用光電子分析装置の設計： 光電子顕微鏡の電磁レンズ設計において、高倍率で収差の少ないレンズを実現させるために、２段レンズを用いた収差補正方法の検討を進めた。
５）1X nm評価用EUV光による干渉露光系の開発： この装置では、透過型回折格子の開発が重要なキーテクノロジーである。そこで、平成２６年度では、12.5 nmのパタン形成が可能な透過型回折格子の制作を進め、制作の見通しを得ることができた。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
当初目標としていた、１）感光性材料の探索では、アニオン部に大きな構造を有する酸発生剤の設計を行った。２）PAGについての酸の拡散長および酸の発生効率の測定では、測定系を構築し、合わせて自動露光が可能な制御系ソフトウェアの作成を完了した。３）高感度レジスト基材の検討では、種類の異なった官能基の影響を調べることで、高感度化についての指針を得ることができた。また、４）線幅バラツキ低減に向けたPAGの濃度分布測定用光電子分析装置の設計では、高倍率での低収差レンズの設計を得ることができた。さらに、５）1X nm評価用EUV光による干渉露光系の開発では、12.5 nmのパタン形成が可能な透過型回折格子の制作を進め、制作の見通しを得ることができた。
以上に記述したように、４つの研究内容のそれぞれの研究成果を総合すると、おおむね順調に進展していると言える。
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| 今後の研究の推進方策 |
H27年度は最終年度である。この年度では、ニュースバルのBL9のアンジュレータビームラインに10 nmのEUVレジスト評価が可能なEUV光による干渉露光系の開発を進める。また、EUVレジストの評価が可能な軟X線吸収分光装置の構築を進める。これらの装置を用いて1X nm用のEUVレジスト開発を促進させる。
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