| 研究成果の概要 |
磁性膜に高周波電流を直接通電し, 磁界印加時の透磁率変化と表皮効果を利用した磁界センサの高感度・高機能・小型化について検討した. 磁気異方性の方向がセンサ特性に及ぼす影響を系統的に調べ, 傾斜磁区を有する素子で発生する不連続変化の要因を明らかにした. また, 小型化で問題となる反磁界の影響について調べ, 小型に適した形状を見出し, 30ミクロン程度まで小型化したセンサの動作を実証した. 非破壊検査応用を考慮し, Crの欠乏により局所的に腐食しやすくなるとステンレス鋼やインコネル合金が強磁性化する振る舞いを明らかにした. 以上から局所的に強磁性化した箇所の磁気的非破壊評価の可能性を示した.
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