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2015 年度 研究成果報告書

超高強度・耐摩耗性炭窒化ホウ素の気相合成法開発

研究課題

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研究課題/領域番号 25289259
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 材料加工・組織制御工学
研究機関東京工業大学

研究代表者

大竹 尚登  東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (40213756)

研究協力者 赤坂 大樹  
稗田 純子  
KAMIS Shahira Binti  
MUNOZ GUIJOSA Juan  
近藤 翔太  
塙 隆夫  
堤 祐介  
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード材料加工・処理 / 薄膜プロセス / アダマント薄膜 / コーティング / 炭窒化ホウ素
研究成果の概要

ダイヤモンドとc-BNの中間の性質を持つと期待されるBCN系材料への注目が集まりつつある.本研究では,電磁気フィルタを用いて高エネルギーのイオンを抽出することのできるFiltered Cathodic Vacuum Arc (FCVA)装置を開発し,BとCの混合ターゲットと窒素ガスを用いてBCN系膜を合成し,その構造及び組成が機械的特性にどのような影響を及ぼすかを詳細に検討した.その結果,N量が2-7at.%の場合に,比較的高硬さで,トライボロジー特性に優れ,耐酸化性を有するBCNコーティングを実現出来ることを明らかにした.最高の膜硬さは,Nを含まないBC膜で得られ,67.1GPaに達した.

自由記述の分野

材料工学

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公開日: 2017-05-10  

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