| 研究概要 |
脳型計算機の開発に向けて, 人の脳に迫る集積化のために重要な鍵となる不揮発性ナノシナプスデバイスを開発することが本研究の目的である. 一般的にニューロンN個に対してシナプスN×N個が必要であり, シナプスの微細化が集積化のための最重要課題であり, フローティングゲートメモリと縦型MOSトランジスタから構成されるナノシナプスデバイスを試作・実現する. 具体的には, フローティングゲートメモリ及び縦型MOSトランジスタの試作・評価, ナノシナプスデバイスの設計・試作・動作検証, ニューロン回路や学習回路との整合性の検証を行う. またデバイスサイズや信号振幅の最適化を図り, 新シナプスデバイスを利用したニューロチップを小規模で実現し, 基本動作を検証することを目指す.
具体的な研究項目は、 1) フローティングゲートメモリの試作, 2) 縦型MOSトランジスタの試作, 3) 不揮発性ナノシナプスデバイスの設計と試作, 4) ネットワーク動作の検証, という4つに分類される. 初年度にあたる平成25年度は、将来の実用化の観点から、デバイスに必要とされる機能・性能を詳細に検討した上で、主に以下3つの課題について研究を行った。
・ 大規模神経回路用1000入力ニューロン回路の設計
・ 大規模神経回路用ナノシナプスデバイスに要求される性能の検証
・ フローティングゲート電極用ポリシリコン薄膜成膜プロセスの確立
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