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本研究課題により得られた成果は、以下の5点である。
１．n型4H-SiC(0001)Si面およびC面の表面再結合速度の定量値およびそれらの温度依存性を得た。また4H-SiCの表面再結合速度が表面に吸着した物質の影響を受けることを見出した。２．マイクロ波によるキャリアライフタイム測定において、測定値の精度を高める手法を見出した。３．p型4H-SiC(0001)Si面およびC面の表面再結合速度の定量値を得た。４．様々な温度、伝導型、ドーピング密度および過剰キャリア濃度での実験結果に対して、高精度に表面再結合速度の見積もりが可能な解析手法を確立した。
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