研究課題
基盤研究(C)
円偏光照明による2次元偏光解析で試料の3次元形状を精密計測できる傾斜エリプソメトリーの高精度化と高速化を目指して、LEDを光源とした円偏光度97%以上の疑似ドーム型照明装置を作製した。また、高速4検出器型ポラリメーターを開発して液晶可変リターダーの較正法を考案した。作製した円偏光照明装置を用いて、2つの波長で計測した異なる偏光画像から同一傾斜角及び傾斜方位角が得られ、傾斜エリプソメトリーの高感度特性が実証できた。
応用光学