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2015 年度 実績報告書

酸素ラジカル密度計測のための電流加熱白金触媒プローブによるプラズマ表面処理の研究

研究課題

研究課題/領域番号 25390111
研究機関東京都市大学

研究代表者

小野 茂  東京都市大学, 工学部, 名誉教授 (80097170)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード酸素原子ラジカル / 触媒プローブ / 表面処理 / 白金
研究実績の概要

酸素ラジカル密度の絶対値を触媒プローブで空間分布計測を行い、電子温度や密度などのプラズマパラメータの空間分布と合わせて、処理機構の解明と最も効果的なプラズマ表面処理を行うための指針を提供する。様々なプラズマに対して触媒プローブを適用した場合にプローブ周囲のガス温度などの条件が大きく変化し、温度に敏感な触媒作用の発現に大きな変化が生じて、正確な触媒プローブ計測に懸念が生じる。そこでプローブ加熱用供給電力を変化させ、触媒作用を起こす白金部の温度を掃引し触媒プローブ計測を行う新たな“温度掃引型触媒プローブ法”を考案し、各種プラズマに適用した。
従来の電流加熱型触媒プローブ法に比較して、温度掃引型触媒プローブ法ではプローブ表面での酸素原子の再結合による供給エネルギーをより客観的に推定が可能となり、高信頼性の酸素原子ラジカル密度導出が可能となった。
温度掃引型触媒プローブ法を各種プラズマ装置に適用した。いずれの装置においても酸素原子ラジカル密度測定について妥当な測定結果を得ることができた。特に大気圧プラズマ装置においては、これを用いた親水化処理の結果と酸素原子ラジカル密度の関係を明確に示すことができ、実際の応用に重要なデータを提供できた。
さらに、触媒プローブの白金表面での酸素プラズマとの相互作用を調べる過程で、酸素プラズマ中のオゾンの金属表面での解離現象について重要な知見を得た。プラズマに晒されている金属表面でのオゾンの解離確率は、プラズマに晒されていない金属表面での解離確率に比較して、著しく大きいことである。プラズマに晒されていない金属表面は様々な大気中ガスが吸着した状態でオゾンと金属の直接的な反応が阻害される。一方、プラズマに晒された金属表面では絶え間ないイオン衝撃により金属表面の吸着物質が除去され、金属表面が露出しオゾンと直接的な反応が頻繁に起こるためと理解される。

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2016 2015

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 4件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] High Speed Hydrophilic Treatment of Polyimide Surface using an Atmospheric Pressure Microwave Oxygen-Argon Plasma2016

    • 著者名/発表者名
      Shigeru Ono
    • 雑誌名

      J. Adv. Oxid. Technol.

      巻: Vol. 19 ページ: 85-92

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Analysis by oxygen atom number density measurement of high speed hydrophilic treatment of polyimide using atmospheric pressure microwave plasma2015

    • 著者名/発表者名
      S. Ono
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: 1653 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1063/1.4914273

    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Experimental Study of Ozone Dissociation on a Metal Electrode2015

    • 著者名/発表者名
      Shigeru Ono
    • 学会等名
      the 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
    • 発表場所
      長崎大学(長崎県)
    • 年月日
      2015-12-12 – 2015-12-15
    • 国際学会
  • [学会発表] Measurement of Oxygen Atom Radical Density by Current Heating Catalytic Probe2015

    • 著者名/発表者名
      Shigeru Ono
    • 学会等名
      The 21st International Conference on Advanced Oxidation Technologies for Treatment of Water, Air and Soil
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 年月日
      2015-11-16 – 2015-11-19
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Experimental Study on Heat Flow by Ozone Dissociation on a Discharge Electrode2015

    • 著者名/発表者名
      Shigeru Ono
    • 学会等名
      Third International Conference on Photocatalytic and Advanced Oxidation Technologies for the Treatment of Water, Air, Soil and Surfaces
    • 発表場所
      Gdansk, Poland
    • 年月日
      2015-09-01 – 2015-09-04
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Oxygen atom number density measurement in microwave excited atmospheric pressure O2-Ar mixture gas plasma using electric current heated catalytic probe2015

    • 著者名/発表者名
      Shigeru Ono
    • 学会等名
      4th International Congress on Advanced Applied Informatics
    • 発表場所
      岡山コンベンションセンター(岡山県)
    • 年月日
      2015-07-12 – 2015-07-16
    • 国際学会

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公開日: 2017-01-06  

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