2015 年度研究成果報告書

酸素ラジカル密度計測のための電流加熱白金触媒プローブによるプラズマ表面処理の研究

研究課題

研究課題/領域番号	25390111
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	基金
応募区分	一般
研究分野	プラズマエレクトロニクス
研究機関	東京都市大学
研究代表者	小野茂東京都市大学, 工学部, 名誉教授 (80097170)
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード	酸素原子ラジカル / 触媒プローブ / 表面処理 / 白金
研究成果の概要	プラズマ表面改質において重要な役割を果たす酸素原子ラジカルに注目してこの研究は行われた。表面改質としてはポリイミドの親水化処理を対象とした。各種プラズマに対して、白金触媒プローブによる酸素原子ラジカル数密度が測定され、親水化処理との関係を明らかにした。白金触媒プローブの測定手法についても検討した。研究遂行の過程で、金属表面におけるオゾンの解離現象において金属表面に対するプラズマの作用が重要であることが分かった。
自由記述の分野	プラズマ科学