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自動車やロボットなどの移動物体の姿勢制御やナビゲーション用として、加速度と角速度の検出可能なMEMS構造に適した圧電振動型センサが要求されている。本研究で検討する振動型センサは、周波数変化型２軸加速度センサと1軸角速度センサを平面的に複合化させて一個のセンサとして構成されている。このため、このセンサでは両センサからの出力信号を干渉なしに独立に取り出せる特徴を持っている。特に、使用される加速度センサは、直角振動子が質量の重心位置にスペーサーを介して接合された非常に簡素な構造となっている。その結果、他軸感度が著しく低減されたセンサ特性が実現されている。
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