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本研究はシリコンを用いた光電子機能デバイスの実現をめざし、発光現象を中心としたシリコンナノ結晶の物性を調べることを目的としている。二酸化シリコンにシリコンイオンを注入後、急速加熱、エキシマＵＶ光照射等を組み合わせた手法でプロセスの低温化、発光強度増強、発光波長制御の可能性などを探った。その結果、電気炉による高温熱処理前にこれらの処理を行うことで発光強度が増強され、プロセスの低温化も可能となることがわかった。さらに、酸素雰囲気中でのレーザーアブレーションにより、類似の発光を得られることもわかった。
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