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均一性に優れた先鋭なμmからnmサイズ構造作製が容易なマイクロエレクトロメカニカルシステム技術の一種、 転写モールド法を用いることで、数百から数ｋVoltの高電圧印加による突起の破壊にならない高硬度・高化学安定性のあるアモルファスカーボン等の材料からなる転写モールド法微小突起陰極アレイプラズマ源を作製した。基底部長さ1570nmから41nmまで微小化した場合の放電開始電圧は201Vから160Vと低くなり、放電電流変動率は1.8％となり、従来の誘電体バリア放電の0.5-2.1kV、2-6％と比較して、非常に低電圧駆動と高い安定性を持つ転写モールド法微小突起陰極アレイプラズマ源の試作が成功した。
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