研究課題
基盤研究(C)
リンやボロンのハイドープ層を硝酸酸化処理することにより、過剰にドープするされた領域を除去し、欠陥を低減することにより、シリコン太陽電池の低コスト高効率化が可能である。表面構造の平坦性の向上により、さらなる特性向上も期待できる。また、リンやボロンのハイドープ層を恒久保存メモリの配線に利用する場合は、ハイドープ領域を表面より数nm下に形成するか、SiやSiO2などの保護層を用いることで超長寿命化が期待できる。
表面化学
