研究課題
基盤研究(C)
二次イオン質量分析法(SIMS)の一次イオンビーム源としての応用を目的として、真空中でのエレクトロスプレー方式を用いた帯電液滴ビーム源の研究開発を実施した。真空中における安定なエレクトロスプレーを可能とするため、蒸気圧が非常に低く、導電性が高いという特徴を有する“イオン液体”を用いて実験を行った。イミダゾリウム系のイオン液体をビーム化して一次イオンビームとして用いて、有機試料の二次イオン検出に成功できた。
二次イオン質量分析