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本研究の目的はUBMS装置による成膜工程のみでDLC膜とAl合金の密着性を向上させ，苛酷環境に耐えるドライ摺動Al合金を創製することである．まず，UBMS成膜条件が膜の硬さや弾性率や成膜速度に及ぼす影響について明らかにし，Al合金上に膜厚及び硬さをナノレベルで段階的に制御した硬度傾斜AlN膜，硬度傾斜AlCrN膜を成膜できた．次に，中間層に硬度傾斜AlN膜，最表面にDLC膜を成膜したAl合金は，低摩擦係数を示し，摩耗寿命が向上することを明らかにした．さらにDLC/AlNG皮膜が疲労強度信頼性を低下させないことを明らかにした．以上から,本研究で開発したAl合金は摺動機器等への利用が期待される．
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