2015 年度研究成果報告書

金属製中性子集光ミラー基板の超精密加工法の研究

研究課題

研究課題/領域番号	25420044
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	基金
応募区分	一般
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	群馬大学
研究代表者	林偉民群馬大学, 理工学府, 教授 (60321840)
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード	機械工作・生産工学 / 精密研磨 / 精密部品加工 / 超精密計測 / 粒子線 / ハイブリッド加工プロセス
研究成果の概要	本提案研究は小型・可搬式中性子源の研究開発における中性子集光用，金属製中性子集光ミラー基板の超精密加工法の確立を目的としている．中性子用斜入射集光ミラーは設計された楕円面形状に対して，高い精度をもつとともに，高い表面粗さ（Ra0.3nm以下）の確保が必要である．本研究では形状創成能力の高いNiP製ミラー基板をターゲットにし，ダイヤモンドバイトより超精密切削加工で形状創成を行い，回転工具によるスキャン研磨法によるミラー基板の超精密仕上げを行い，中性子ミラー基板の加工が可能であることを確認した．
自由記述の分野	工学