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2015 年度 研究成果報告書

超精密部品の高速形状検査のための三次元光学顕微計測基盤技術の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 25420050
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関静岡大学

研究代表者

臼杵 深  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (60508191)

連携研究者 三浦 憲二郎  静岡大学, 工学部, 教授 (50254066)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード光学顕微鏡 / 画像処理 / 三次元計測 / ライトフィールド / 低コヒーレンス干渉 / OCT / Focus Variation / 形状モデリング
研究成果の概要

ライトフィールド顕微鏡のリフォーカス機能により高速に得られたイメージスタックに対してFocus Variationを適用し,深度マップを得た.光学顕微鏡とShape from Silhouetteにより得た形状モデルに対して深度マップを適用し,試料表面情報を含む三次元形状モデルの再構築を行った.さらに,表面プロファイルの高精度測定や奥行きが深い構造の測定に対応するために試料走査型OCT顕微鏡を提案した.低コヒーレンス干渉信号を光学顕微鏡の被写界深度内に固定した上で,測定対象を走査することで三次元形状を得る方法である.実験による検証の結果,光学顕微鏡の被写界深度の数十倍の深さ測定範囲が得られた.

自由記述の分野

光計測

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公開日: 2017-05-10  

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