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2015 年度 研究成果報告書

多価重イオンビームの結晶材料の隆起現象を利用した3次元ナノ加工技術の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 25420061
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関高知工科大学

研究代表者

百田 佐多生  高知工科大学, 環境理工学群, 准教授 (50299393)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード微細加工技術 / 半導体結晶材料 / ナノ材料科学 / 粒子ビーム科学
研究成果の概要

イオンビーム照射による結晶材料の隆起現象に着目し、新しいナノマイクロメートルサイズの三次元加工法としての可能性を検証した。
シリコンや炭化ケイ素結晶を被加工物として加工特性を評価し、ビームのエネルギーや照射量によって100nmまでの隆起高さを4 nm以下の精度で達成することに成功した。シリコン結晶を使って構造物のサイズを表面方向にも変形できることを実証した。比較的少ない照射量で隆起が達成できるため、隆起加工後の結晶材料の機械的強度の劣化が従来のイオンビーム加工に比べて低減されており、機械的要素として利用するのに適していることを示した。

自由記述の分野

重イオンビームの照射効果や加工・改質技術に関する研究

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公開日: 2017-05-10  

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