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2015 年度 実績報告書

ロールナノインプリント法による金属ナノ構造転写技術の確立

研究課題

研究課題/領域番号 25420067
研究機関東京理科大学

研究代表者

谷口 淳  東京理科大学, 基礎工学部, 教授 (40318225)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワードナノインプリント / ロールナノインプリント / 金属転写 / モスアイ構造 / ナノ配線 / 反射防止構造 / プラズモン / 銀インク
研究実績の概要

金属ナノ構造をロールナノインプリント法により転写するためには、銀インクを用いた転写技術の開発が必要である。前年度までは、主に真空蒸着による金属ナノパターンを作製してきたが、連続してロールで転写するには、この方法を用いることができない。そこで、銀インクの塗布に液体分離方式のナノインプリントを用い、その後ロールトゥロール(RTR)でナノインプリントすることで金属ナノ構造転写技術を確立した。液体分離方式では、金型に液体の銀インクを流し込み、余分なインクはダミー基板(ロールナノインプリントで用いるフィルムなど)で除去をして、その後、RTRでパターンを転写した。パターン転写前に、液体の銀インクの溶媒を飛ばす必要があるが、RTR装置上で行うために、ドライヤーで行った。この結果、格子状の透明電極の作製と銀のモスアイ構造の作製が本プロセスで行えた。透明電極の場合は、作製された銀格子パターンの透過率は波長550 nmでグリッド幅10 μm、20 μmのときにそれぞれ81%、83%であった。また、抵抗値は6.5 Ω/sq、3.0 Ω/sqであった。モスアイ構造の場合は、100nm直径、280nm高さの銀の形状が作成でき、プラズモン発色も確認できた。
さらに、ロールプレスによる金属ナノパターンの積層構造も作製した。この場合も銀インクを用いてロールプレスによる銀インクの金型への充填と液体分離方式による樹脂層の制御にも成功し、1ミクロン厚の金属ナノパターン層を10層積層することにも成功した。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2015

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (2件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Stacking of nanoscale metal dot array using liquid transfer imprint lithography with roll press2015

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Tsuji, Jun Taniguchi
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 141 ページ: 117 ~ 121

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2015.02.008

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Removal of residual layer by liquid transfer imprint lithography using roll-to-roll UV-NIL2015

    • 著者名/発表者名
      Masatoshi Moro, Jun Taniguchi
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 141 ページ: 112 ~ 116

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2015.01.040

    • 査読あり
  • [学会発表] Metallic antireflection structure made from silver ink using liquid transfer imprint technique2015

    • 著者名/発表者名
      Tomoya Uchida, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
    • 学会等名
      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Toyama International Conference Center, Toyama, Japan
    • 年月日
      2015-11-13 – 2015-11-13
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of isolated metal dot pattern in hole features using roll to roll machine and silver ink2015

    • 著者名/発表者名
      Kai Ojima, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
    • 学会等名
      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Toyama International Conference Center, Toyama, Japan
    • 年月日
      2015-11-13 – 2015-11-13
    • 国際学会

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公開日: 2017-01-06  

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