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2015 年度 研究成果報告書

ロールナノインプリント法による金属ナノ構造転写技術の確立

研究課題

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研究課題/領域番号 25420067
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京理科大学

研究代表者

谷口 淳  東京理科大学, 基礎工学部, 教授 (40318225)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワードナノインプリント / 銀インク / 光硬化性樹脂 / ロール技術 / 金型 / レプリカモールド / 離型性 / 積層構造
研究成果の概要

ロールナノインプリント法により、プラスチック基板上への金属ナノ構造転写技術の確立を行った。具体的には、樹脂製のレプリカモールドを作製し、このパターンの底部にのみ銀インクを残し、この部分を光硬化樹脂で取ることで、プラスチック基板上に絶縁分離された金属のナノパターンの作製が可能となった。使用した技術は、ロール動作と液体分離による余分な銀インクや樹脂の除去である。この結果、転写速度が10 m/minと高速の場合でも、100nmを切る銀ナノパターンを作製できた。さらに、ロールプレス法による金属ナノパターン積層技術を開発し、10層の積層構造が可能となった。また、プラズモンによる発光も確認した。

自由記述の分野

ナノテクノロジーを用いたものづくり

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公開日: 2017-05-10  

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