先端的な技術分野での需要が高まっている様々な先端材料を高精度に加工するためには,超精密工作機械が必要である.超精密工作機械の加工精度を決定する中核的な構成要素が高精度回転装置であるスピンドルである.本研究は,スピンドルに供給した水圧によって回転軸を非接触で支持可能な水静圧スピンドルを開発し,上記の分野への加工性能の向上を目指して実施したものである. 特に,スピンドルには高い軸受剛性が要求されるため,本研究では高い軸受剛性を備えたスピンドルの開発を行った.さらに,高性能化を図るため水静圧軸受にナノオーダの変位制御機能を組み込むことに成功した上,各種材料に対する切削実験を実施した.
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