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2015 年度 研究成果報告書

ナノレベルの超精密平面加工用工作機械におけるボールねじの熱膨張と微振動の抑制

研究課題

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研究課題/領域番号 25420072
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関静岡理工科大学

研究代表者

大塚 二郎  静岡理工科大学, その他部局等, 教授 (30016787)

研究分担者 野崎 孝志  静岡理工科大学, 理工学部, 准教授 (20548888)
十朱 寧  静岡理工科大学, 理工学部, 教授 (60288404)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード位置決め / ボールねじ / 振動抑制 / 熱膨張抑制 / ナノメーター
研究成果の概要

(1)高精度位置決め装置を完成させ、制御実験を行った結果、分解能がナノレベル(50nm)を有することが分かった。
(2)熱膨張抑制研究では、ナットに取り付けられる高冷却性の水ジャケットを設計・製作した上、冷却実験を行ったところ、二条状水ジャケットの冷却性性能が高く、ボールねじ300mmでの熱膨張は2.3μ程度だった。
(3)振動抑制研究では、ボールねじのチューブに圧電素子を装着し,アクティブ制振を行っ成果、ボールねじチューブの振動(1.85kHz付近)を抑制することができた.また、ナットの送り速度が10[mm/s]~50[mm/s]では、チューブの変位量が0.1[μm]未満であるとわかった。

自由記述の分野

精密工学

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公開日: 2017-05-10  

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