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ナノシステムの開発には10 nm以下、つまりシングルナノメータスケールの超微細加工技術の構築が必要である．本研究では直径約2 nmから10 nmを有する単層カーボンナノチューブ(SWNT)を走査型プローブ顕微鏡のタングステン探針先端に、独自開発した超音波を利用したSWNT分散溶液から引き上げることによりSWNTを確率17％で一本取り付けることに成功した．このSWNT探針を利用して3V－8Vのバイアス電圧を付加して除去加工を行うことにより、直径９nm、深さ４nmの穴を高配向性グラファイト表面上に加工することに成功した．
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