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2014 年度 実施状況報告書

超親水性ブラシと表面との相互作用およびナノパーティクル除去メカニズムの解明

研究課題

研究課題/領域番号 25420112
研究機関静岡大学

研究代表者

真田 俊之  静岡大学, 工学研究科, 准教授 (50403978)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワードPVAブラシ / 洗浄 / 濡れ性
研究実績の概要

超親水性を有するPVAブラシの摩擦特性について、特に、ブラシの粘弾性と対象物の濡れ性に着目して研究を行った。その結果、PVAブラシに設置されているノジュールの役割について説明することができた。すなわち垂直荷重に依存する摩擦力を増加させるために、粘弾性を有するノジュールを衝突させることによって、垂直荷重が非定常的に増加することを示した。それに伴って摩擦力の増加も実験から確認した。なおその垂直力の緩和時間は数秒程度と非常に長いことが明らかになった。またその粘弾性の影響を無視できるように、垂直荷重を十分緩和させた後の摩擦試験によって、PVAブラシは速度の増加に伴い摩擦力が減少することを示した。その際の摩擦係数は0.5から1.0程度であり、PVAブラシと表面は局所的に接触しており、その真実接触面積が時間と共に増加する系であることが示された。すなわち、従来提案されている、流体潤滑に伴うスライディングによる粒子除去モデルは、現実とは異なることが予想される。
また、実機に近いロールブラシで観察された、摩擦力に及ぼす対象物表面の濡れ性の影響は、単一ノジュールの摩擦試験では観察されず、単一ノジュールをロールブラシ先端で衝突させる際にのみ観察される現象であることが示された。ロールブラシの衝突の高速度撮影結果から、この摩擦力の濡れ性依存は、ブラシが衝突する際に、ブラシから出入りする水の影響を強く受けていることが示唆された。この結果より、対象物のゼータ電位によって説明されていたPVAブラシと表面との付着は、対象物表面の濡れ性で整理できることが示唆される。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

ロールブラシおよび単一ノジュールの摩擦特性をある程度解明できたため。

今後の研究の推進方策

これまでの研究で明らかにされたブラシの粘弾性とPVAスポンジの構造の関係を明らかにする。特に含まれる水の挙動に着目する。
また、対象物に付着させた不純物の除去性から除去モデルを構築する。

次年度使用額が生じた理由

次年度作成予定の粒子付着力測定装置の消耗品に使用するため

次年度使用額の使用計画

微細粒子の付着力測定のための消耗品を購入

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2015 2014

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (5件) (うち招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Effect of surface wettability on frictional conditions during scrubbing using polyvinyl acetal brush2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 4 ページ: 141-148

    • DOI

      10.1149/2.0111505jss

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] PVAロールブラシの摩擦特性に及ぼす表面濡れ性の影響2015

    • 著者名/発表者名
      西尾賢哉,原義高,真田俊之,福永明,檜山浩國
    • 学会等名
      機械学会関東支部第21期講演会
    • 発表場所
      横浜国立大学, 横浜市, 神奈川県, 日本
    • 年月日
      2015-03-20 – 2015-03-21
  • [学会発表] Measurements of Normal and friction forces during brush cleaning2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nishio, Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    • 学会等名
      International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2014)
    • 発表場所
      神戸国際会議場, 神戸, 兵庫県, 日本
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-21
  • [学会発表] Viscoelasticity behavior of PVA brush and its impact on friction: A Guideline for Nodule Configuration2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    • 学会等名
      12th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces(UCPSS2014)
    • 発表場所
      Brussels44Center, Brussels, ベルギー王国
    • 年月日
      2014-09-21 – 2014-09-24
  • [学会発表] PVAブラシ粘弾性と摩擦特性2014

    • 著者名/発表者名
      真田俊之,原義高,福永明,檜山浩國
    • 学会等名
      応用物理学会シンポジウム
    • 発表場所
      北海道大学, 札幌市, 北海道, 日本
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-17
  • [学会発表] Viscoelasticity behavior of PVA brush and its impact on friction2014

    • 著者名/発表者名
      T. Sanada, Y. Hara, A. Fukunaga, H. Hiyama
    • 学会等名
      19th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
    • 発表場所
      Albany Marriott Hotel, Albany, New York, アメリカ合衆国
    • 年月日
      2014-08-10 – 2014-08-13
    • 招待講演

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公開日: 2016-05-27  

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