| 研究課題/領域番号 |
25420205
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 研究機関 | 兵庫県立工業技術センター |
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研究代表者 |
才木 常正 兵庫県立工業技術センター, その他部局等, 研究員 (80470227)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| キーワード | 弾性表面波 / アクチュエータ / 粉体 / 圧電材料 |
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| 研究概要 |
弾性表面波（SAW）アクチュエーターから発生されるレイリー波の振幅は数十から数百nmであり、通常の測定方法では観測することができない。そこで、今年（平成２５年）度はホログラフォック干渉系を用いた光学的手法により、SAWの伝播領域や方向、その振幅等を観測できるシステムの構築を行った。その結果、現時点においてSAWによって変形された弾性体（基板）表面からの一次回折光が得られるところまで達成することできたので、次年度以降もシステム構築を続けて行く予定である。
上記のように光学手法を用いたSAW観測システムが未完のため、無水タングステン酸の粉末(平均粒子径: 22.3μm，標準偏差: 15μm)を篩で均一に基板表面に散布してSAWの伝播領域を確認した。その結果、アクチュエーターから発生させたSAWだけではなくグレーティングや微細溝によって反射されるSAWにおいても伝播領域を確認することができた。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
3: やや遅れている
理由
今年（平成２５年）度は、ホログラフィック干渉系を用いた光学的手法を用いたSAW観測システムが未完のため、粉体を篩で均一に基板表面に散布することでSAWを観測する方法を採用した。このため、SAWの伝播領域について把握することが可能となったが、その振幅等についてはわかっていない。
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| 今後の研究の推進方策 |
次年（平成２６年）度においては、ホログラフィック干渉系を用いたSAW観測システムが完成できるかの有無を早期に見定める。もし、無理な場合には、速やかにレーザドップラー方式の検討に入り、早期、非接触式のSAW観測システムの完成を目指す。
同時に、予定していた各種波動によるSAWによる粉体駆動の観測を行う。具体的には、SAWの集中に伴い粉体の集積が可能であるかを確認する。そして、SAWの干渉を利用し、干渉縞つまり基板面の局所部位でSAWの強弱の分布ができるので、それを利用して粉体の停止位置制御が可能であるか等についても調べる。これら実験結果より、各種SAWによる粉体の操作内容について吟味する。
更に、上記実験で得られた各種データより粉体輸送モデルを確立し、計算シュミレーションが可能かの検討も行う。
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| 次年度の研究費の使用計画 |
未購入の消耗品があったため
消耗品を購入する予定
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