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2015 年度 研究成果報告書

弾性表面波の波動特性を用いた粉体の精密輸送制御

研究課題

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研究課題/領域番号 25420205
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 機械力学・制御
研究機関兵庫県立工業技術センター

研究代表者

才木 常正  兵庫県立工業技術センター, その他部局等, 研究員 (80470227)

連携研究者 内海 裕一  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (80326298)
山口 明啓  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 準教授 (70423035)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード弾性表面波 / アクチュエータ / 粉体 / 圧電材料
研究成果の概要

近年,創薬や電子分野において,マイクロ粉体の輸送等の高精度な物理的操作に期待が高まっているが,従来技術では不可能であった。そこで,弾性表面波(SAW)デバイスに注目し,SAWによる高精度な粉体輸送の可能性について調べた。その結果,SAWを発生させる櫛歯電極(IDT)への駆動周波数を変えることで,粉体の輸送方向を制御できることが明らかになった。また,大きなピッチサイズを有するIDTほど,粉体の輸送効率が高くなることがわかった。更に,SAW伝搬面に薄膜パターンを形成することで,粉体の輸送速度が制御できることもわかった。こられの知見を基に,世界に類を見ない高精度の粉体供給機を製作することに成功した。

自由記述の分野

電気・電子工学

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公開日: 2017-05-10  

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