導電性高分子PEDOT/PSS薄膜への通電加熱で駆動するMEMSアクチュエータを検討した.20~30μmの膜厚に数Vの電圧を印加した場合に数10℃の温度上昇が得られることが確認できた.膜厚低減のため,極性溶媒の添加(エチレングリコール5%)および導電性銀ナノ粒子溶液の添加を行うことにより導電性を高め,厚さ約2μmの膜に3Vを印加することで,70~80℃の温度上昇が得られるようになった.この導電膜をシリコンゴム(PDMS)製光学レンズの焦点可変への応用を検討した.半球状のレンズの外周部に導電膜を形成し,数Vの電圧を印加して約4%の焦点距離の変化が得られ,このような分野への応用が期待できる.
|