| 研究課題/領域番号 |
25420282
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 研究機関 | 東京農工大学 |
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研究代表者 |
鮫島 俊之 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30271597)
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| 研究分担者 |
水野 智久 神奈川大学, 理学部, 教授 (60386810)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| キーワード | ソーラーセル / パッシベーション膜 / 低温プロセス技術 / キャリヤライフタイム / マイクロ波吸収 / 光誘起フリーキャリヤ / 水蒸気熱処理 |
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| 研究概要 |
・MIS型高品質ソーラーセルを簡単なプロセス技術で作成する基礎技術となる薄膜パッシベーション技術を開発に取り組んだ。
・酸素ラジカル処理と260℃水蒸気熱処理を組み合わせた低ダメージ低温シリコン表面薄膜パッシベーション技術を開発した。
・本技術を用いて900μsの高い実効キャリヤライフタイムを達成した。
・そして当該パッシベーション膜上にAl-Auを用いたMIS型シリコンソーラーセルを試作した。
・0.6Vノ高い開放電圧を達成した。
・酸素ラジカル処理と水蒸気熱処理の組み合わせ技術の高品質パッシベーションとしての有用性を実証した。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
・酸素ラジカル処理と水蒸気熱処理を組み合わせた新規低温シリコン表面薄膜パッシベーション技術を開発したこと、
・本技術を用いて900μsの高い実効キャリヤライフタイムを達成したこと、
・Al-Auを用いたMIS型シリコンソーラーセルを試作し、開放電圧0.6Vを達成したこと、
により、本研究課題達成に重要な技術開発を達成実証した。
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| 今後の研究の推進方策 |
①酸素ラジカル処理条件の最適化を行い、1nm級薄膜酸化膜にて1msに達する少数キャリヤライフタイムを実現するパッシベーション技術を開発する。
②MISソーラーセルを試作し電極パターンの最適化を図る。
③熱処理技術との組み合わせにより効率10％を目標にする。
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| 次年度の研究費の使用計画 |
実験材料・器具の納期遅れ
昨年度繰越分及び本年度分（当初計画分）を研究進捗に沿って執行する。
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