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半導体デバイスの開発には，静電ポテンシャルを制御することが必要で，これは不純物の種類や濃度を変化させることで実現する．新しくデバイスを開発する時，不純物が設計どおりに制御できているか調べることが必要になる．しかし，デバイスの微細化が進む中，そのような手法の開発が遅れている．本研究では，電子ビームを照射したときに流れる電流を測ることで，不純物濃度を分析する手法の開発を目指した．電子顕微鏡を使って行う手法であり，空間分解能は非常に高く出来，濃度に応じて誘導電流が変化することを確認出来た．しかし，そのために試料を加工する必要がある．試料作製法を改良することで，より信頼できる手法になると期待される．
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