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2015 年度 実績報告書

紫外線レーザーによるグラフェンの層数選択マスクレス加工法の研究

研究課題

研究課題/領域番号 25420287
研究機関大阪大学

研究代表者

若家 冨士男  大阪大学, 基礎工学研究科, 准教授 (60240454)

研究分担者 阿保 智  大阪大学, 基礎工学研究科, 助教 (60379310)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワードグラフェン / レーザー加工 / マスクレス
研究実績の概要

グラフェンを大気中でマスクレスでレーザー加工する手法を開発すること,および,その際にグラフェンの層数を選択できる手法を確立することを目的として研究を推進した。本年度の実績を以下に示す。
前年度までに,グラフェンを大気中でレーザー加工できることと,層数選択的な加工ができることを実証したが,その機構については未解明のままであった。そのため,本年度は,試料を加熱した状態でレーザーを照射する実験を行った。その結果,試料温度が200℃のときの方が,室温のときに比べて,グラフェンを加工するために必要なレーザーパワーが大きいことが分かった(この実験結果については論文投稿準備中である)。このことは,グラフェンのレーザー加工の機構がレーザー照射時のグラフェンの温度そのものではないということを意味している。つまり,グラフェンと基板の温度上昇にともなう膨張によりグラフェンが運動エネルギーを得て基板から脱離している可能性を強く示唆している。そこで,各層の温度分布をコンピュータ・シミュレーションによって求め,そこから,基板の熱膨張の様子のシミュレーションを行った。その結果,基板の熱膨張からグラフェンがうけとる運動エネルギーが,加工の機構に関係していることを示唆する結果が得られたが,実験結果の数値を再現するまでは至らなかった。グラフェンのレーザー加工の機構の追求に関する研究は現在も継続中である。また,SiO2/Si 基板以外の基板上のグラフェンをマスクレスレーザー加工するための手法についての研究も継続中である。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2016 2015

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] X-ray source using carbon-nanotube field emitter with side-gate electrode2015

    • 著者名/発表者名
      Shuhei Okawaki, Satoshi Abo, Fujio Wakaya, Masayuki Abe, Mikio Takai
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 ページ: 06FF10-1-4

    • DOI

      10.7567/JJAP.54.06FF10

    • 査読あり
  • [学会発表] パルスレーザー堆積/非接触原子間力顕微鏡複合装置の開発とアナターゼ型 TiO2(001)表面の高分解能測定2016

    • 著者名/発表者名
      勝部大樹,山下隼人,阿保智,若家冨士男,阿部 真之
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東工大大岡山キャンパス(東京都・目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] X-ray Charge Neutralizer Using Carbon-Nanotube Field Emitter2015

    • 著者名/発表者名
      Fujio Wakaya
    • 学会等名
      The 7th Japan-Korea Vacuum Nanoelectronics Sympojium
    • 発表場所
      Korea University (Korea)
    • 年月日
      2015-10-23 – 2015-10-24
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] SiO2/Si基板上のグラフェンの紫外レーザによる加工のメカニズム2015

    • 著者名/発表者名
      萬木 成彰,若家 冨士男,阿保 智,山下 隼人, 阿部 真之, 高井 幹夫
    • 学会等名
      SiO2/Si基板上のグラフェンの紫外レーザによる加工のメカニズム
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16

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公開日: 2017-01-06  

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