| 研究成果の概要 |
ZnMgSeTeの有機金属気相成長に関する成果をまとめた。組成，ラマン特性，表面形態，表面粗さの各種成長条件（基板温度, 反応室圧力, Mg, Se, Pの有機金属原料の供給量）依存性を明らかにした。例えば，組成は基板温度に強く依存し，低い基板温度の使用で原料供給量によってMgのみならずSeに対しても適度の組成に制御できることを実証した。また，ラマンスペクトルの組成に対する挙動も明らかにすると共に，ZnTeとの格子整合が実現される成長条件で，良好な結晶膜が得られることも実証した。また，燐のドーピングでｐ型伝導が可能であり，更にアニ－ル処理によって高キャリア密度が実現できることを明らかにした。
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