研究課題/領域番号 |
25420301
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研究機関 | 崇城大学 |
研究代表者 |
宗像 誠 崇城大学, 情報学部, 教授 (10183112)
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研究分担者 |
友重 竜一 崇城大学, 工学部, 教授 (90258640)
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研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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キーワード | ナノドット形成 / スパッタ粒子 / ペア秩序 / スピン波 / 超巨大一軸磁気異方性 / ヘリコン波制御 / 100-1000GHz / スピン波励起 |
研究実績の概要 |
当該年度においては,昨年度に引き続きナノドット形成のためのスパッター粒子の直線性を向上させる製膜装置(カールセルスパッター法)の最終的な特殊改造を実施した. 具体的には,スパッター粒子のへリコン波制御を精密化することをナノドットサイズのマスク孔へのスパッタ粒子入射に対して技術的に実現することを主旨とした.その根拠は,マスク孔へのスパッタ粒子の斜め入射があると,ナノドット端部にFeCoSm結晶構造の一軸異方性スピンに分散が生じ,ナノドット特有のコヒレント励起スピン波に悪影響があると考えられるからである.特に,Fe元素スパッタ粒子の直進性には,技術的に大きな問題があり,Co元素との堆積配置関係(Co-Fe(Sm)ペア秩序配列)の上で最重要な検討事項であった.当該年度本件の成果として,ナノドット化以前の通常の磁性薄膜においても結晶構造の一軸異方性スピン分散が格段に少ない磁気特性が得られることを発見している.さらに,スパッター粒子の堆積機構シミュレータ解析結果から同様の結果が得られており,本研究テーマ新規“超巨大一軸磁気異方性(FMR周波数100-1000 GHz)”の実現のためのナノドット形成技術の初頭的基盤が構築できたと考えられる. 取得したデータは基礎的な実証データーではあるが,量産をも志向したナノドット作製技術としては,独創的な新規の手段として特許性があると考えられるので,後日の論文・学会発表(成果出力)で調整を図りたい考えである.
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現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
4: 遅れている
理由
現況では、当初1年の予定が2年を要している。予定内容は確実に進行しているのではあるが、新規検討要素が多発し、そのため時間要素のみが達成度の遅れになっている。 一方、その遅れの分に応じて特許要素の発見が多く、学会/論文発表等にも慎重を期している。 本研究で意図されているナノドット形成技術は、世界主流の技術とは全く異なるもので、その前段的な技術・手法には十分な理論解析が必要であると考えられる。
予定一年遅れで、当該研究続行を予定している。
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今後の研究の推進方策 |
今後の研究推進については、当初と同じく方針通りである。予定は1年遅れているが、計画内容についても確実に実行されているので、3年間の計画の調整改変を行う予定である。 計画実施の中で、特許要素も大幅に出てきたので、今後の発表活動についても、今後の時間調整を行いたい考えである。 なお、JST A-STEPなどへの新規申請も実施する予定である。また、科研費挑戦萌芽研究にも要件が整えば、申請したい意向である。
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