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Ｑ値の大きいＭＥＭＳ共振器を製作し、これを用いて無電源のウエイクアップモジュールを実現することを目的として、研究を行った。
静電型ＭＥＭＳ共振器の設計法、製造法、測定法、動作シミュレーション方法を確立した。くし歯型静電型ＭＥＭＳを製作し、131MHzの共振周波数を確認した。一方、静電型ＭＥＭＳ共振器では、ウエイクアップ信号発生に必要な共振エネルギーが得られないこともわかった。
次に圧電型ＭＥＭＳ共振器について検討し、圧電型で一定の大きさのＭＥＭＳ共振器で900MHz帯でウエイクアップモジュールが実現できることを明らかにした。
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