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2015 年度 実績報告書

高精度テラヘルツ絶対電力センサー素子の開発

研究課題

研究課題/領域番号 25420428
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

飯田 仁志  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 物理計測標準研究部門, 研究グループ長 (40392584)

研究分担者 木下 基  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 物理計測標準研究部門, 主任研究員 (00415671)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
キーワードテラヘルツ / 絶対電力 / カロリメータ / 不確かさ
研究実績の概要

本研究ではテラヘルツ波絶対電力測定用高精度センサーの開発を目的として、これまでに等温制御型カロリメータの原理を利用したセンサーを試作し研究を進めてきた。平成27年度はセンサーのさらなる高感度化を目指してテラヘルツ波吸収による微弱熱量測定装置の改良を行い、絶対電力測定の不確かさ要因の把握と解析評価を実施して以下の成果を得た。
本センサーでは、テラヘルツ波電力を、熱電変換素子を利用した等温制御方式によって直流の電力に置換して測定する。サブマイクロワット以下の微弱なテラヘルツ波電力を正確に定量的に測定するためには、直流電力を高精度かつ安定に測定することが課題であった。超低雑音プリアンプを導入してセンサーの雑音特性を改善し高感度化したところ、さらに測定精度を向上するためには外部からの熱擾乱を抑圧することが極めて重要であることが判明した。検出器の周囲に真空断熱材を利用した多層の断熱遮蔽を施して測定系の最適化を行い、熱擾乱の影響を極限まで抑えることによって、常温において数十ナノワットレベルの高感度検出を実現した。
本センサーの不確かさ要因を詳細に解析した。吸収体の反射率、直流置換の等価性、直流測定などの不確かさ要因を定量的に解析し、主要因となっていた熱擾乱に起因する不確かさを改善した。測定の不確かさは、1テラヘルツにおいて、1マイクロワットの測定で2.4%、30ナノワットの測定で13%であり、常温においては世界最高レベルの感度でテラヘルツ波絶対電力を定め得ることを明らかにした。
本研究によって、液体ヘリウムによる極低温環境を必要とせず、常温において容易に使用できる高精度テラヘルツ絶対電力センサーを実現することに成功した。

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2016 2015 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 3件、 招待講演 1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Recent Research Trends of Terahertz Measurement Standards2015

    • 著者名/発表者名
      Yozo Shimada, Hitoshi Iida, Moto Kinoshita
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology

      巻: 5 ページ: 1166-1172

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] ミリ波・テラヘルツ波カロリーメータによるパワー測定2016

    • 著者名/発表者名
      木下基、飯田仁志、島岡一博、雨宮邦招、藤井勝巳
    • 学会等名
      2016年電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      九州大学(福岡県)
    • 年月日
      2016-03-15 – 2016-03-18
  • [学会発表] テラヘルツ波パワーの絶対値測定による電子ビーム診断2016

    • 著者名/発表者名
      平義隆、飯田仁志、木下基、坂上和之、黒田隆之助
    • 学会等名
      分子研研究会「高輝度・高強度赤外光源の現状と今後の展開」
    • 発表場所
      岡崎コンファレンスセンター(愛知県)
    • 年月日
      2016-02-11
  • [学会発表] テラヘルツ波微弱電力の精密測定技術の開発2016

    • 著者名/発表者名
      飯田 仁志、木下基、雨宮 邦招
    • 学会等名
      2015年度計量標準総合センター成果発表会
    • 発表場所
      産業技術総合研究所(茨城県)
    • 年月日
      2016-02-09 – 2016-02-10
  • [学会発表] テラヘルツ波パワーの絶対値測定による電子ビーム診断2016

    • 著者名/発表者名
      平義隆、飯田仁志、木下基、坂上和之、黒田隆之助
    • 学会等名
      2015年度計量標準総合センター成果発表会
    • 発表場所
      産業技術総合研究所(茨城県)
    • 年月日
      2016-02-09 – 2016-02-10
  • [学会発表] Development of a Terahertz Calorimeter at NMIJ2015

    • 著者名/発表者名
      Hitoshi Iida, Moto Kinoshita, Kuniaki Amemiya, Yozo Shimada
    • 学会等名
      18th Asia Pacific Metrology Programme TCEM Meeting
    • 発表場所
      National Institute of Metrology (Beijing, China)
    • 年月日
      2015-11-01 – 2015-11-04
    • 国際学会
  • [学会発表] カロリーメータによるミリ波・テラヘルツ波の電力測定2015

    • 著者名/発表者名
      木下基、飯田仁志、島岡一博、島田洋蔵
    • 学会等名
      応用物理学会・テラヘルツ電磁波技術研究会第1回研究討論会/テラヘルツテクノロジーフォーラム第1回テラテク技術セミナー
    • 発表場所
      徳島大学(徳島県)
    • 年月日
      2015-10-06 – 2015-10-07
    • 招待講演
  • [学会発表] A Comparison of Terahertz Power Measurements at Sub-microwatt Level2015

    • 著者名/発表者名
      Hitoshi Iida, Moto Kinoshita, Kuniaki Amemiya, Yozo Shimada
    • 学会等名
      40th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz2015)
    • 発表場所
      The Chinese University of Hong Kong (Hong Kong, China)
    • 年月日
      2015-08-23 – 2015-08-28
    • 国際学会
  • [学会発表] Calibration of Radiated Power from a Resonant Tunneling DiodeOscillator by a Terahertz Calorimeter at Room Temperature2015

    • 著者名/発表者名
      Hitoshi Iida, Moto Kinoshita, Kuniaki Amemiya, Yozo Shimada, Masahiro Asada, Safumi Suzuki
    • 学会等名
      Joint Symposium of the 3rd International Symposium on Microwave/Terahertz Science and Application (MTSA 2015) and The 6th International Symposium on Terahertz Nanoscience (Teranano 2015)
    • 発表場所
      沖縄科学技術大学院大学(沖縄県)
    • 年月日
      2015-06-30 – 2015-07-04
    • 国際学会
  • [備考] 国立研究開発法人産業技術総合研究所ホームページ

    • URL

      http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2016/pr20160118/pr20160118.html

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公開日: 2017-01-06  

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