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電顕および電子エネルギー損失分光のその場観察から、TiHx中の水素の脱離が窒素注入初期段階で優先的に起こり、その後の注入過程で、Ti原子と結合した窒素原子数が徐々に増大することが分かった。以上より窒素を配位子として持つTi副格子の結合の強さの変化により誘起されたhcp-Tiの細密面の原子移動が注入窒素の占有によるhcp-fcc-Ti副格子のエピタキシャル変態において重要な役割を持っていること、さらに、hcp-Ti格子の窒素原子を含む八面体に隣接した単位胞の窒素のない八面体サイトの窒素の占有がN/Ti＝0.25以上で優先的に起こり、hcp-fcc-Ti変態の核の成長を誘起することを明らかにした。
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