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Al2O3のヤング率が材料厚さ依存性を実験的に検討した。数10nm～100nm程度の厚さを持つチューブ状のAl2O3を原子蒸着法を利用して作製する技術を開発した。作製したチューブを用いてヤング率を測定した。ヤング率の測定には片持ちはり法を利用した。その結果、Al2O3のヤング率は厚さ依存性を持つことが明確に認められた。ただし、ヤング率を厚さの関係を正確に求めるためには、更なる実験結果の蓄積が必要である。本研究で提案した、厚さを~10nmレベルまで制御したAl2O3チューブを作成する方法と簡単にヤング率を測定する方法の組み合わせは、当該分野の研究に役立つことが期待される。
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