|
都市生活を営む上で直流－交流変換などの電力変換は不可欠である。本研究では、高品質かつ低コストのAlN 単結晶基板の成長技術を確立し、次世代AlN 系パワーデバイス開発の加速に貢献することを目的とする。目的達成に向けて、AlN固体ソース溶液成長中の高温固－液界面のその場観察装置を開発し、成長初期過程の観察を行った。成長温度1250℃では樹脂状成長様式が、1350℃では多段ステップの移動による成長様式が観察された。得られたAlNは多結晶であったが、高温固－液界面のその場観察技術の開発およびAlN固体ソース溶液成長プロセスの解明に成功した。
|
