放射光が解き明かすDLC膜の微細構造

2015 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 25420783
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・組織制御工学
• 研究機関: 株式会社豊田中央研究所
• 研究代表者: 伊関 崇 株式会社豊田中央研究所, 材料・プロセス1部 表面改質研究室, 主任研究員 (60394897)
• 連携研究者: 山口 聡 株式会社豊田中央研究所, 分析部 量子ビーム解析研究室, 研究員 (10394892) ; 野崎 洋 株式会社豊田中央研究所, 分析部 量子ビーム解析研究室, 主任研究員 (90394890) ; 高橋 直子 株式会社豊田中央研究所, 分析部 組織解析研究室, 技師 (90394981) ; 小澤 康弘 株式会社豊田中央研究所, 材料・プロセス1部 表面改質研究室, 技師補 (60557940)
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2016-03-31
• キーワード: DLC / 動径分布関数 / 構造解析 / X線散乱 / 中性子散乱

研究成果の概要

プラズマCVD法により作製したダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜を放射光による微小角入射X線散乱（GIXS）測定に供した。得られた散乱スペクトルから動径分布関数を算出したところ、成膜時の投入電力の増大により、膜中のsp2炭素に起因する中距離秩序性の増大が認められた。本結果は可視光ラマン散乱やナノインデンテーションの結果とも良い相関性を示した。また、重水素化したDLCを中性子散乱に供することで、RDFを導出した結果、グラファイト骨格中にC-D結合の存在が確認された。

自由記述の分野

薄膜工学、非晶質材料、表面処理