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Nb多層配線プロセスを改良し、ピックアップコイルを3次元化したSQUIDの作製プロセスを構築した。SQUID顕微鏡のための磁場検出素子は、産総研のクリーンルームCRAVITYで製作を行った。特に、グラジオメーター形式を採用して低雑音化を図った素子や多層プロセスを利用して3次元的にコイルを配置したベクトル磁場測定用のSQUID素子も製作した。また、SQUID素子の実装技術についても開発を行った。理論面からは、3次元走査型SQUID顕微鏡の特異値分解を用いた画像解析アルゴリズムの開発を行った。これにより、新しい産業の創成や先端研究分野でのイノベーションを支援できの萌芽段階の開発となった。
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