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本研究は窒化物、特にチタン窒化物のナノ構造を電子線リソグラフィーを利用した微細加工技術によって作製し、新しい可視光域のプラズモニックデバイスの創製を行うことであった。
成果として、イオンビーム（Arイオン）を照射するスパッタ装置において、窒素ガス雰囲気かでチタン成膜を行うことにより、窒素含有のチタン薄膜の作製が可能となった。また、電子ビームリソグラフィーによりナノパターンを形成したところに成膜を行うことでチタン窒化物のナノ構造が作製できることを確認した。また、このチタン窒化物上で有機分子のラマン散乱測定が可能であることを示した。
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