2014 年度研究成果報告書

表面光反射の対称性を利用した新規結晶方位解析法

研究課題

研究課題/領域番号	25600085
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	結晶工学
研究機関	東北大学
研究代表者	沓掛健太朗東北大学, 金属材料研究所, 助教 (00463795)
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2015-03-31
キーワード	結晶方位解析 / 結晶工学 / 面方位 / 多結晶 / 大面積ウェーハ
研究成果の概要	本研究では、申請者が独自に着想した結晶方位解析法について、理論の構築と解析方法の基礎固めを目的として研究を進めた。本方法は、結晶方位を反映した試料表面の光反射強度の対称性と変位を解析する方法であり、理想的には大面積の結晶方位分布を高速に得ることができる。本方法を実現するための装置を設計・導入し、検討を重ねることで、具体的な装置仕様およびこの方法のポテンシャルについての一定の知見を得た。
自由記述の分野	結晶工学