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2014 年度 実績報告書

深紫外領域における窒化物半導体上の局在表面プラズモン共鳴現象に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 25600090
研究機関三重大学

研究代表者

平松 和政  三重大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50165205)

研究分担者 三宅 秀人  三重大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (70209881)
元垣内 敦司  三重大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (00303751)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
キーワード窒化物半導体 / 金属 / 表面プラズモン / 深紫外領域
研究実績の概要

本研究は、紫外、可視、赤外で優れた発光材料の窒化物半導体と、ナノ金属粒子表面の微小空間内に増強電磁波を閉じ込め可能な局在表面プラズモン共鳴現象(LSPR)とを融合し、深紫外領域における新規の光物性を見出し、及び光デバイスを開拓することである。本研究の目的は下記の通りである。① AlNステップ制御エピタキシーによりステップ端に10 - 30 nmのAl粒子を形成すること、② 窒化物半導体上で深紫外光(波長250nm以下)のLSPRをはじめて実証すること、③ 深紫外領域での新規光デバイスの可能性を探索し、次期の開発研究につなげること。平成26年度は、昨年度に引き続き、可視領域での表面プラズモン現象に関する実験を進め、2層型ワイヤーグリッド偏光子における異常透過現象の考察、2次元金属回折格子構造を用いたフィルター特性、1次元金属回折格子構造を用いた表面プラズモンセンサーに関して成果を得ることができ、近紫外領域での表面プラズモン共鳴における指針を得ることができた。
まず、2層型ワイヤーグリッド偏光子については、シミュレーションを行いTM偏光の透過率のピーク角度が周期によって変化することを表面プラズモン共鳴による異常透過現象から説明できることを明らかにした。
次にこの2層型ワイヤーグリッド構造を応用し、2次元金属回折格子構造を作製し、構造によって反射率を制御できることを明らかにした。
最後に1次元回折格子構造を用いて表面プラズモンセンサーを作製し、屈折率が1.65の1-ブロモナフタレンが検出できることを明らかにした。
以上の結果を踏まえ、将来AlやIn等の金属を用いることで紫外線領域での表面のプラズモン共鳴を用いた光学デバイス作製の指針を得ることができた。

  • 研究成果

    (30件)

すべて 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 3件) 学会発表 (24件) 備考 (3件)

  • [雑誌論文] Using surface-plasmon polariton at the GaP-Au interface in order to detect chemical species in high-refractive-index media2015

    • 著者名/発表者名
      A. Motogaito, S. Nakamura, J. Miyazaki, H. Miyake and K. Hiramatsu
    • 雑誌名

      Optics Communications

      巻: 341 ページ: 64-68

    • DOI

      10.1016/j.optcom.2014.12.006

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] High-quality AlN growth on 6H-SiC substrate using three dimensional nucleation by low-pressure hydride vapor phase epitaxy2014

    • 著者名/発表者名
      S. Kitagawa, H. Miyake and K. Hiramatsu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 ページ: 05FL03

    • DOI

      10.7567/JJAP.53.05FL03

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] MOVPE growth of GaN on Si substrate with 3C-SiC buffer layer2014

    • 著者名/発表者名
      M. Katagiri, H. Fang, H. Miyake, K. Hiramatsu, H. Oku, H. Asanuma and K. Kawamura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 ページ: 05FL09

    • DOI

      10.7567/JJAP.53.05FL09

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Stady on surface thermal stability of free-standing GaN substrates2015

    • 著者名/発表者名
      S. Okada, H. Miyake, K. Hiramatsu, R. Miyagawa, O. Eryu and T. Hashizume
    • 学会等名
      ISPlasma 2015
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2015-03-28 – 2015-03-28
  • [学会発表] 一次元金属回折格子を用いた伝搬型表面プラズモンセンサーによる高屈折率媒質の検出2015

    • 著者名/発表者名
      水戸慎也、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2015-03-13 – 2015-03-13
  • [学会発表] MOVPE法によるAlN成長におけるc面サファイア微傾斜角度の影響2015

    • 著者名/発表者名
      鈴木周平、林家弘、三宅秀人、平松和政、福山博之
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2015-03-12 – 2015-03-12
  • [学会発表] MOVPE法によるAlN成長におけるc面サファイア表面の影響2015

    • 著者名/発表者名
      林家弘、鈴木周平、岡田俊祐、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2015-03-12 – 2015-03-12
  • [学会発表] スパッタ法AlNテンプレート基板を用いたAlNのHVPE成長2015

    • 著者名/発表者名
      安井大貴、三宅秀人、平松和政、岩谷素顕、赤﨑勇、天野浩
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-11
  • [学会発表] 光学フィルタへの応用に向けた金属2次元回折格子構造の作製と光学特性評価2014

    • 著者名/発表者名
      鬼頭壮宜、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      機械振興会館
    • 年月日
      2014-12-18 – 2014-12-18
  • [学会発表] GaN自立基板の表面におけるサーマルクリーニングの効果2014

    • 著者名/発表者名
      岡田俊祐、三宅秀人、平松和政、宮川鈴衣奈、江龍修、橋詰保
    • 学会等名
      電子情報通信学会レーザー量子エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      大阪大学 吹田キャンパス
    • 年月日
      2014-11-28 – 2014-11-28
  • [学会発表] Studies on surface plasmon sensor using one-dimensional metal diffraction grating2014

    • 著者名/発表者名
      S. Mito, A. Motogaito, H. Miyake and K. Hiramatsu
    • 学会等名
      The 4th International Symposium for Sustainability by Engineering at MIU
    • 発表場所
      三重大学
    • 年月日
      2014-11-26 – 2014-11-26
  • [学会発表] Surface treatment of GaN substrates by thermal cleaning2014

    • 著者名/発表者名
      S. Okada, H. Miyake, K. Hiramatsu, R. Miyagawa, O. Eryu and T. Hashizume
    • 学会等名
      The 4th International Symposium for Sustainability by Engineering at MIU
    • 発表場所
      三重大学
    • 年月日
      2014-11-26 – 2014-11-26
  • [学会発表] GaN growth on carbonized-Si substrate by MOVPE2014

    • 著者名/発表者名
      K. Izumi, H. Miyake, K. Hiramatsu, H. Oku, H. Asamura and K. Kawamura
    • 学会等名
      The 4th International Symposium for Sustainability by Engineering at MIU
    • 発表場所
      三重大学
    • 年月日
      2014-11-26 – 2014-11-26
  • [学会発表] Influence of thermal annealing in N2-CO ambient on AlN buffer layer2014

    • 著者名/発表者名
      S. Suzuki, H. Miyake, K. Hiramatsu, and H. Fukuyama
    • 学会等名
      The 4th International Symposium for Sustainability by Engineering at MIU
    • 発表場所
      三重大学
    • 年月日
      2014-11-26 – 2014-11-26
  • [学会発表] Study of AlN growth conditions for hydride vapor phase epitaxy2014

    • 著者名/発表者名
      D. Yasui, H. Miyake, K. Hiramatsu and T. Kawamura
    • 学会等名
      The 4th International Symposium for Sustainability By Engieering at MIU (IS2EMU2013)
    • 発表場所
      三重大学
    • 年月日
      2014-11-26 – 2014-11-26
  • [学会発表] 2層型ワイヤーグリッド偏光子の偏光特性と表面プラズモン共鳴2014

    • 著者名/発表者名
      元垣内敦司、森下雄太、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-18 – 2014-09-18
  • [学会発表] 光学フィルタへの応用に向けた金属2次元回折格子構造の作製と可視光及び赤外光の透過・反射制御2014

    • 著者名/発表者名
      鬼頭壮宜、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-18 – 2014-09-18
  • [学会発表] サファイア基板のサーマルリング2014

    • 著者名/発表者名
      林家弘、鈴木周平、岡田俊祐、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-18 – 2014-09-18
  • [学会発表] エピタキシャル成長のためのGaN 自立基板サーマルクリーニング2014

    • 著者名/発表者名
      岡田俊祐、三宅秀人、平松和政、宮川鈴衣奈、江龍修、橋詰保
    • 学会等名
      第6回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      名城大学
    • 年月日
      2014-07-26 – 2014-07-26
  • [学会発表] サファイア上AlN 緩衝層のN2-CO アニールとMOVPE 法による高温成長2014

    • 著者名/発表者名
      鈴木周平、三宅秀人、平松和政、福山博之
    • 学会等名
      第6回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      名城大学
    • 年月日
      2014-07-26 – 2014-07-26
  • [学会発表] HVPE法AlN成長条件のシミュレーションによる検討2014

    • 著者名/発表者名
      安井大貴、三宅秀人、平松和政、河村貴宏
    • 学会等名
      第6回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      名城大学
    • 年月日
      2014-07-25 – 2014-07-25
  • [学会発表] Influence of thermal cleaning on free-standing GaN surface2014

    • 著者名/発表者名
      S. Okada, H. Miyake, K. Hiramatsu, R. Miyagawa, O. Eryu and T. Hashizume
    • 学会等名
      第33回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺
    • 年月日
      2014-07-10 – 2014-07-10
  • [学会発表] Polarization Property of a Double-layer Wire Grid Polarizer and the Mechanism of Transmission2014

    • 著者名/発表者名
      A. Motogaito, Y. Morishita, H. Miyake and K. Hiramatsu
    • 学会等名
      17th European Conference on Integrated Optics and 20th Microoptics Conference
    • 発表場所
      Nice, France
    • 年月日
      2014-06-25 – 2014-06-25
  • [学会発表] Excitation of Surface Plasmon Polariton at the GaP-Au Interface in a High-Refractive-Index Medium2014

    • 著者名/発表者名
      A. Motogaito, S. Nakamura, J. Miyazaki, H. Miyake and K. Hiramatsu
    • 学会等名
      17th European Conference on Integrated Optics and 20th Microoptics Conference
    • 発表場所
      Nice, France
    • 年月日
      2014-06-25 – 2014-06-25
  • [学会発表] AlN基板の表面処理とホモエピタキシャル成長2014

    • 著者名/発表者名
      渡邉祥順、三宅秀人、平松和政、岩崎洋介
    • 学会等名
      電子情報通信学会電子デバイス研究会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2014-05-29 – 2014-05-29
  • [学会発表] GaN自立基板の表面におけるサーマルクリーニングの効果2014

    • 著者名/発表者名
      岡田俊祐、三宅秀人、平松和政、宮川鈴衣奈、江龍修、橋詰保
    • 学会等名
      電子情報通信学会電子デバイス研究会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2014-05-28 – 2014-05-28
  • [学会発表] HVPE Homoepitaxy on Freestanding AlN Substrate with Trench Pattern2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Watanabe、H. Miyake、K. Hiramatsu, Y. Iwasaki and S. Nagata
    • 学会等名
      5th International Symposium on Growth of III-Nitrides
    • 発表場所
      Atlanta, USA
    • 年月日
      2014-05-19 – 2014-05-19
  • [備考] 三重大学大学院工学研究科電気電子工学専攻 オプトエレクトロニクス研究室

    • URL

      http://www.opt.elec.mie-u.ac.jp

  • [備考] 三重大学全学シーズ集

    • URL

      http://www.crc.mie-u.ac.jp/seeds/contents/detail.php?mid=20100108-113310&t=r&url=

  • [備考] 三重大学極限ナノエレクトロニクスセンター

    • URL

      http://www.cute.rc.mie-u.ac.jp

URL: 

公開日: 2016-06-01  

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