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2013 年度 実績報告書

レーザートムソン散乱分光法による液中プラズマ中の電子エネルギー分布計測

研究課題

研究課題/領域番号 25600121
研究機関名古屋大学

研究代表者

堀 勝  名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80242824)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2014-03-31
キーワード液中プラズマ / プラズマ加工 / レーザー計測
研究概要

液中プラズマは、ナノ粒子の高速合成や、環境、医療・バイオなど様々な分野にて非常に注目されている液中プラズマの基礎放電過程は未だ明らかになっておらず、液中プラズマ内の電子の密度・温度・エネルギー分布など挙動を計測し、液中プラズマの学術基盤を構築することが求められる。本研究ではレーザートムソン散乱分光システムを液中プラズマ計測に応用することを目的に研究を実施した。
まずレーザートムソン散乱分光法において、その計測を妨げる迷光となる溶液・光学系及び容器からのレイリー・ラマン散乱を極力低減する液中プラズマ容器とともに、溶液によるトムソン散乱光の減衰を抑制し、且つ効率的にトムソン散乱光を得る光学系、および溶液内でのレーザーブレークダウンを発生させないレーザー光強度の同定に関する検討を実施した。
計測対象となる液中プラズマとしては、我々が独自で開発した60Hz交流電力を用いたプラズマ源を使用した。プラズマ放電用の交流電圧をトリガとして、レーザー光パルスと散乱光検出器であるICCDカメラのゲートオープンタイミングを制御し、液中プラズマの電子温度および密度の計測を試みた。また使用した溶液としては、メタノールなどアルコール類を用いた。その結果、メタノール溶液を用いたプラズマにおいて、電子密度は1立方センチメートル当たり10の13乗から14乗程度、電子温度も1~3eV程度であった。しかし、今回上記のように専用の計測用チャンバを構築したものの、気化した溶液や液滴でのレイリー散乱やラマン散乱の影響が非常に強く、十分にS/N比の高い計測が実現できていないため、今後更なる改善が必要であることがわかった。そこで今後も構築したシステムを改良するとともに活用して実験を継続していき、液中プラズマの科学的な基盤の構築を目指す。

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2014 2013 その他

すべて 学会発表 (5件) 備考 (1件)

  • [学会発表] Spectroscopic analysis of gas-liquid plasma for nanographene synthesis2014

    • 著者名/発表者名
      A. Ando, T. Takeda, H. Kondo, K. Ishikawa, M. Sekine T. Ohta, M. Ito, M. Hiramatsu, H. Kano, M. Hori
    • 学会等名
      6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      Meijo University
    • 年月日
      20140302-20140305
  • [学会発表] AC励起アルコール液中プラズマにおけるナノグラフェン合成機構の解析2014

    • 著者名/発表者名
      安藤睦, 小島和晃, 竹田圭吾, 近藤博基, 石川健治, 関根誠, 太田貴之, 伊藤昌文, 平松美根男, 加納浩之, 堀勝
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス
    • 年月日
      2014-03-19
  • [学会発表] ナノグラフェン合成液中プラズマの分光学的診断2013

    • 著者名/発表者名
      安藤睦, 竹田圭吾, 近藤博基, 石川健治, 関根誠, 太田貴之, 伊藤昌文, 平松美根男, 加納浩之, 堀勝
    • 学会等名
      第23回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館
    • 年月日
      20131209-11
  • [学会発表] ナノグラフェン合成のための気-液プラズマの分光計測2013

    • 著者名/発表者名
      安藤 睦、竹田圭吾、近藤博基、石川健治、関根誠、太田貴之、伊藤昌文、平松美根男、加納浩之、堀勝
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      名城大学名駅サテライト
    • 年月日
      20131121-20131123
  • [学会発表] ナノグラフェン合成中の液中プラズマの分光診断2013

    • 著者名/発表者名
      安藤睦, 竹田圭吾, 近藤博基, 石川健治, 関根誠, 太田貴之, 伊藤昌文, 平松美根男, 加納浩之, 堀勝
    • 学会等名
      平成25年秋季第74回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス
    • 年月日
      2013-09-19
  • [備考] 名古屋大学工学研究科電子情報システム専攻電子工学分野集積プロセス講座ナノプロセス研究グループ

    • URL

      http://horilab.nuee.nagoya-u.ac.jp/

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公開日: 2015-05-28  

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