レーザートムソン散乱分光法による液中プラズマ中の電子エネルギー分布計測

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 25600121
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: プラズマエレクトロニクス
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 堀 勝 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80242824)
• 連携研究者: 竹田 圭吾 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00377863)
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2014-03-31
• キーワード: 液中プラズマ / レーザー計測 / 散乱光計測 / プラズマ加工

研究概要

液中プラズマは、環境、医療・バイオなど様々な分野にて注目されている。この液中プラズマの基礎放電過程を解明するため、レーザートムソン散乱分光法の応用を試みた。まずプラズマによるガス加熱機構を明らかにするために、AC高電圧を用いたパルス状の水中プラズマにレーザー光を入射して得られるラマン散乱スペクトルからガス温度を求めた結果、プラズマON時間に約690 Kまで加熱され、OFF時に室温まで低下することがわかった。また、AC励起エタノール液中プラズマでの電子密度・温度計測を試みたが、プラズマ光や液滴で生じるレイリー散乱などの影響が強く、更なる計測精度の向上が必要であると考えられる。

研究成果

• [学会発表] AC励起アルコール液中プラズマにおけるナノグラフェン合成機構の解析 (2014)
  • 著者名/発表者名: 安藤睦, 小島和晃, 竹田圭吾, 近藤博基, 石川健治, 関根誠, 太田貴之, 伊藤昌文, 平松美根男, 加納浩之, 堀勝
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学相模原キャンパス
  • 年月日: 2014-03-19
• [学会発表] Spectroscopic analysis of gas-liquid plasma for nanographene synthesis (2014)
  • 著者名/発表者名: A. Ando, T. Takeda, H. Kondo, K. Ishikawa, M. Sekine, T. Ohta, M. Ito, M. Hiramatsu, H. Kano, M. Hori
  • 学会等名: 6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
  • 発表場所: Meijo University, Aichi, Japan
  • 年月日: 2014-03-16
• [学会発表] ナノグラフェン合成液中プラズマの分光学的診断 (2013)
  • 著者名/発表者名: 安藤睦, 竹田圭吾, 近藤博基, 石川健治, 関根誠, 太田貴之, 伊藤昌文, 平松美根男, 加納浩之, 堀勝
  • 学会等名: 第23回日本MRS年次大会
  • 発表場所: 横浜市開港記念会館
  • 年月日: 20131209-11
• [学会発表] ナノグラフェン合成のための気-液プラズマの分光計測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 安藤睦, 竹田圭吾, 近藤博基, 石川健治, 関根誠, 太田貴之, 伊藤昌文, 平松美根男, 加納浩之, 堀勝
  • 学会等名: 電気学会プラズマ研究会
  • 発表場所: 名城大学名駅サテライト
  • 年月日: 20131121-23
• [学会発表] ナノグラフェン合成中の液中プラズマの分光診断 (2013)
  • 著者名/発表者名: 安藤睦, 竹田圭吾, 近藤博基, 石川健治, 関根誠, 太田貴之, 伊藤昌文, 平松美根男, 加納浩之, 堀勝
  • 学会等名: 平成25年秋季第74回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学京田辺キャンパス
  • 年月日: 2013-09-19
• [備考]
  • URL: http://horilab.nuee.nagoya-u.ac.jp/