| 研究成果の概要 |
本研究では、液中プラズマプロセスを用いてサイズ制御した銅ナノ粒子を生成し、液中でイオン化した銅ナノ粒子を、表面張力による浮力と静電力を利用して、自動的に微細
穴に埋め込む新しいプラズマプロセスを創成することを目的としている。
研究期間内に以下の2項目について研究した。（１）微細穴への銅の埋め込み実現に必須のプラズマ異方性CVDに関する原理検証では、高密度かつ高速製膜を実現するための重要なパラメータを明らかにした。（２）液中プラズマを用いたナノ粒子作製では、Inを初めとして、Cu,Au,Pt等の金属ナノ粒子を液中プラズマを用いて作製することに成功した。
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